GLRoad SFN120A 气浮并联负刚度主动减振器
型 号：SFN120A
名 称：气浮并联负刚度主动减振器
品 牌：格蓝若精密(GLRoad)
分 类：环境仪表/设备 > 环境实验设备 > 振动台/震动测定仪
产品属性：主机
简 述：
SFN系列高性能主动减振器垂向以空气弹簧并联磁负刚度机构作为主支撑，水平方向以机械式倒立摆负刚度机构与正刚度机构并联，配合垂向和水平向的主动振动控制及精密定位控制，实现6自由度高性能主动减振和稳姿。可以满足超精密制造装备的高性能减振要求。
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SFN120A 气浮并联负刚度主动减振器技术参数
| 型号 | SFN120A |
|---|---|
| 隔振体 | 空气弹簧、磁负刚度机构 |
| 单腿最大承载能力 | 1200kg（5bar） |
| 四腿支撑承载能力 | 3000-4800kg |
| 单腿尺寸 | 374*220*200(L*W*H mm) |
| 单腿重量 | ≤35kg |
| 系统减振自由度 | 6 |
| 主动隔振带宽 | 0.5-150Hz |
| 传递率 | ≤-20dB@2Hz,≤-35dB@5Hz,≤-50dB@10Hz |
| 台面位置稳定性 | ≤±5μm |
| 单腿水平电机峰值推力 | 80N |
| 单腿垂向电机峰值推力 | 80N |
| 系统支持最大功率 | 400W |
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